Kan worden gebruikt voor het verwarmen en verdampen van metaalhalogeniden, metaale organische verbindingen,koolwaterstoffen en andere reactiebronnen onder specifieke druk om vast sediment op het oppervlak van het doelmateriaal te genererenHet wordt ook gebruikt voor chemische dampafzetting van composietmaterialen met koolwaterstofgas (zoals C3H8, enz.) als koolstofbron, zoals C/C composietmaterialen, SiC composiet
materialen, CVD, CVI verwerking.