Chemische stofafzettingstooven voor metaalorganische verbindingen SiC samengestelde materialen

De stofafzettingsoond kan worden gebruikt om metaalhalogeniden, metaalorganische verbindingen,koolwaterstoffen en andere reactiebronnen onder specifieke druk om vast sediment op het oppervlak van het doelmateriaal te genererenHet wordt ook gebruikt voor chemische dampafzetting van composietmaterialen met koolwaterstofgas (zoals C3H8, enz.) als koolstofbron, zoals C/C composietmaterialen, SiC composietmaterialen, CVD,CVI-verwerking.

Kenmerken:

1) Bij gemiddelde of hoge temperatuur wordt door de chemische reactie in de gasfase tussen de oorspronkelijke verbindingen in de gasfase vast materiaal gevormd en afgezet op de matrix.

2) Het kan worden afgezet onder atmosferische druk of onder vacuümomstandigheden (negatieve druk afzetting, meestal is vacuüm afzetting filmkwaliteit beter).

3) Het gebruik van plasma- en laserondersteunde technologie kan de chemische reactie aanzienlijk bevorderen, zodat de afzetting bij een lagere temperatuur kan worden uitgevoerd.

4) De chemische samenstelling van de coating kan veranderen met de verandering van de gasfase samenstelling, zodat gradiënt sediment of gemengde coating wordt verkregen.

5) Kan de dichtheid van de coating en de zuiverheid van de coating controleren.

Het is geschikt voor het coachen van allerlei complexe vormen van het werkstuk.het kan worden bekleed met groeven, groeven, gaten en zelfs blinde gaten van het werkstuk.

7) De afgezette laag heeft gewoonlijk een kolommenvormige kristallenstructuur en is niet buigvast.Maar de structuur kan worden verbeterd door gasfase perturbatie van de chemische reactie door verschillende technieken.

8) kan door verschillende reacties een verscheidenheid aan metalen, legeringen, keramische en samengestelde coatings vormen.