Doorvergrendelingsmodus Vacuüm-afzettingsoond voor grafiet- en halfgeleiderapparaten

De Vacuum-afzettingsoond wordt gebruikt voor de bereiding van koolstof-koolstof samengestelde materialen,en de afzettingsoond wordt hoofdzakelijk gebruikt voor de bereiding van pyrolytische koolstofcoating op het oppervlak van grafiet, halfgeleiderapparaten en warmtebestendige schoonmaakmaterialen.

Toepassingsgebied:

Grafiet, halfgeleiders, hittebestendige schoonmaakmaterialen.

1. Basisparameters:

1) Ontwerptemperatuur: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Gemene temperatuur: 900~1200°C

3) Vacuümgraad: < 50 Pa

4) Drukverhoging: 6,67 pA/h (of 150 Pa/24h) in koude toestand van lege oven

5) Verwarmingsmodus: grafietweerstandsverwarming of inductieverwarming, onafhankelijke temperatuurregeling, goede temperatuuruniformiteit

6) Atmosfeer: vacuüm /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Gasregelmodus: massa-stroommeterregeling, meerkanaals gaspad, gelijkmatig stroomveld, geen afzetting dode hoek, goed afzettingseffect;

Meerfasig en efficiënt uitlaatgaszuiveringssysteem, milieuvriendelijk, gemakkelijk schoon te maken;

8) Typ van oven: vierkante, ronde, verticale of horizontale structuur (niet-standaardontwerp), volledig afgesloten afzettingskamer, goed afdichtend effect, sterke vermogen tegen verontreiniging;

9) Koelstand van de oven: koelwater van de oven, externe circulatie snel koelsysteem kan worden geselecteerd, korte koeltijd, hoge productie-efficiëntie;

2. Structuur van de vakuum-afzettingsoond:

Structuurvorm: horizontale - zijdelingse ontlading, verticale - op/afontlading

Vergrendeling van de oven: handmatig/automatisch

Materiaal van de ovenschalen: binnenin roestvrij staal/alle roestvrij staal

Isolatiematerieel: koolstoffilter/grafietfilter/koolstofvezelgehard filter

Verwarmingsmateriaal, muffels: grafiet/CFC

Infraroodinstrument: enkel-colorimetrisch/dubbelcolorimetrisch

Stroomvoorziening: KGPS/IGBT (alleen geschikt voor middelfrequente verwarming)

Specificatie van het product: