Sinteroven voor Si2O-siliconoxide met een werktemperatuur van 1500°C, ±5°C Eenvormigheid en aanpasbare kamergrootte

Geschikt voor massaproductie van opdampmaterialen zoals siliciumoxide; Hoge precisie temperatuurverschilcontrole, hoge temperatuur en hoog vacuüm; Met hoogvacuümsublimatie, reactie, ontvetten, uitdroging, dampafzetting, automatisch slijpen, schrapen, ovenverzameling en andere speciale procesmogelijkheden.

Uitrustingskenmerken:

Een grote hoeveelheid materiaal, hoge productie-efficiëntie.

l Het hele proces is volledig gesloten en automatische werking, vermijd stofvliegen, de omgeving van de productielocatie is schoon en schoon.

l Temperatuurregeling binnen 1500 graden, snelle verwarmingssnelheid.

Ik kan een stabiele werking onder vacuüm behouden.

Apparatuurparameters:

l Oventype is horizontale structuur.

l Apparatuur bestaat uit een sublimatiesysteem, verzamelsysteem, verwarmingssysteem, temperatuurregelsysteem, vacuümsysteem, mechanisch systeem en koelsysteem.

Het sublimatiesysteem bestaat uit een verwarmingszone en een verzamelzone. De verwarmingszone bestaat uit inductiespoel, zwaar korund, hard grafietvilt en isostatisch grafiet. Het verzamelgebied is samengesteld uit 310S roestvrij staal en een isolatielaag.

l Het temperatuurregelsysteem gebruikt de gecentraliseerde bedieningsmodus van het PLC-aanraakscherm, automatische bediening, met netwerkpoort, kan afstandsbediening realiseren.

l Het verwarmingssysteem maakt gebruik van inductieverwarming en de voeding maakt gebruik van IGBT-energiebesparende energie met een laag geluidsniveau en ongeveer 15% energiebesparing in vergelijking met de traditionele thyristorvoeding.

Het vacuümsysteem bestaat uit een meertrapsvacuümpomp, vacuümklep, drukregelaar en pijpleiding.

l Het ovenlichaam is gemaakt van een dubbellaagse waterkoelingstructuur aan de binnen- en buitenkant, en het deel dat in contact komt met het koelwater is gemaakt van roestvrij staal 304, wat effectief voorkomt dat het ovenlichaam langdurig gas lekt.

l Het koelsysteem is voorzien van een gesloten koelsysteem. De interne circulatie maakt gebruik van gedeïoniseerd water, dat geen kalkaanslag in de pijpleiding van de apparatuur veroorzaakt. Het waterverlies in de interne circulatie is klein. Goed warmteafvoereffect, geïntegreerde milieubescherming, kleine voetafdruk enzovoort.

l De grootte van de constante temperatuurzone: Φ500 mm * 600 mm, Φ600 mm * 800 mm, Φ700 mm * 1000 mm, Φ800 mm * 1600 mm enzovoort. (kan worden aangepast aan de behoeften van de klant)