Het gebruik, de toepassingsscope en de classificatie van CVD-ovens

De toepassingen, toepassingsgebied en indeling van CVD-ovens

De afzettingsoffen zijn een soort hoogtemperatuurprocesapparatuur die veel wordt gebruikt op het gebied van materiaalvoorbereiding en oppervlakte-engineering.Ze worden hoofdzakelijk gebruikt om een of meer lagen dunne folie op het oppervlak van een substraat af te leggen door middel van fysische of chemische methodenMet de ontwikkeling van industrieën als halfgeleiders, opto-elektronica en nieuwe energie, is het mogelijk dat de materialen in de industriële productie worden geïntegreerd en dat de materialen nieuwe fysische, chemische of mechanische eigenschappen krijgen.het belang van de afzettingsoffen is steeds belangrijker geworden.

I. Belangrijkste toepassingen van sedimentatieovens

De kerntoepassing van de afzettingsoond is de controleerbare bereiding van dunne filmmaterialen.Door gasvormige of verdampte precursoren onder hoge temperatuur aan reacties of condensatie op het substraatoppervlak te onderwerpenIn het vacuüm of in specifieke atmosferische omstandigheden wordt een uniforme en dichte film gevormd.Voorbereiding van de lichtabsorberende laag en de antireflectielaag in zonnecellenVoor de voorbereiding van antireflectieve en antireflectieve films op het oppervlak van optische onderdelen en de slijtvast coatingbehandeling op het oppervlak van gereedschapsmaterialen.op het gebied van wetenschappelijk onderzoekIn het kader van de onderzoeksprocedure voor de ontwikkeling van nieuwe materialen, zoals onderzoek naar tweedimensionale materialen, nanofilms en composiet functioneel materiaal, worden ook afzettingsoffen gebruikt.

II. Toepassingsgebied van de afzettingsoond

Het toepassingsgebied van afzettingsoffen is uiterst breed en bestrijkt meerdere gebieden zoals elektronische informatie, energie, ruimtevaart, automobielindustrie en biomedicine.In de elektronica-industrieIn de sector van de nieuwe energie wordt het op grote schaal gebruikt voor de bereiding van fotovoltaïsche cellen,met een vermogen van niet meer dan 10 WIn de luchtvaart wordt het gebruikt voor de bereiding van hoge temperatuur anti-oxidatie coatings en thermische barrière coatings om de prestaties van materialen in extreme omgevingen te verbeteren.In de sector van de mechanische vervaardiging, wordt het gebruikt voor de oppervlakteversterking van snijgereedschappen en malen om hun slijtvastheid en levensduur te vergroten.Sommige biocompatibele coatings zijn ook afhankelijk van de afzetting in een oven..

Iii. Indeling van de afzettingsoffen

Volgens verschillende procesprincipes en structurele kenmerken kunnen afzettingsoffen in verschillende soorten worden ingedeeld.

1. Geklassificeerd naar sedimentatiemodus

(1) Chemische stofafvaloven (CVD-oven): door de chemische reactie van gasvormige voorlopers bij hoge temperaturen wordt op het oppervlak van het substraat een vaste film gevormd.Dit type apparatuur heeft een goede gelijkmatigheid van de sedimentatie en is geschikt voor grootschalige productie.

(2) Fysieke stoom-afzettingsoond (PVD-oond): deze legt materialen op het substraatoppervlak af door middel van fysische methoden zoals verdamping en sputtering,met een vermogen van meer dan 10 W,.

2. Classificatie naar procesomgeving

(1) Afzettingsoond onder atmosferische druk: De afzetting vindt plaats onder omstandigheden die dicht bij de atmosferische druk liggen.De apparatuurstructuur is relatief eenvoudig en geschikt voor sommige industriële toepassingen.

(2) Laagdruk- of vacuümdepositooven: in een vacuüm- of laagdrukomgeving uitgevoerd.het is bevorderlijk voor het verbeteren van de zuiverheid en uniformiteit van de film en is de belangrijkste apparatuur in de high-end productie.

3. Geklassificeerd naar verwarmingsmethode

Resistentieverwarming afzettingsoond: Het heeft een stabiele structuur en precieze temperatuurregeling, en is de meest gebruikte.

(2) Inductieverwarming afzettingsoond: Het heeft een snelle verwarming en is geschikt voor hoge temperatuur snelle processen.

(3) Plasma-geassisteerde afzettingsoond: door de reactiviteit van plasma te verhogen, kan een hoogwaardige filmafzetting worden bereikt bij een relatief lage temperatuur.

IV. Ontwikkelingstendensen

Met de ontwikkeling van nieuwe materialen en micro-nano-productietechnologieën evolueren afzettingsoffen naar hoge precisie, intelligentie en multifunctionele integratie.door automatische controlesystemen en online-bewakingstechnologieën in te voerenIn het kader van de nieuwe technologieën voor de verwerking van de film is het mogelijk om de dikte en de samenstelling van de film in realtime te regelen.het concept van groene productie bevordert ook de modernisering van apparatuur met het oog op energiebesparing en milieubescherming.

Over het geheel genomen spelen afzettingsoffen, als belangrijke uitrusting in de moderne materialenindustrie, een onvervangbare rol bij het verbeteren van de materiaalprestaties en het bevorderen van high-end productie.Hun technologische vooruitgang zal ook de ontwikkeling van aanverwante industrieën blijven stimuleren..